微系统设计导论（第2版）（德）沃纳·卡尔·施默博格作者介绍、内容简介、图书详情、目录
内容简介
微系统由微米级结构组成，并作为完整的系统进行优化，以提供一种或多种特定功能。《微系统设计导论（第2版）》是以微结构设计与系统功能优化为基础，详细介绍微系统设计的教科书。《微系统设计导论（第2版）》共23章，包括了微传感、微驱动、微流体控制、微光学等微系统的关键结构与功能元件的设计。《微系统设计导论（第2版）》通过建立和求解系统方程来进行参数设计，而微系统和微结构的工作原理是建立解析方程的基础，因此《微系统设计导论（第2版）》着重介绍微结构在微系统中的应用及其工作原理的表达式。为帮助读者熟练掌握这些公式的用法，《微系统设计导论（第2版）》在每章最后都给出了一些习题以供读者练习。《微系统设计导论（第2版）》可供高等工科院校微机电系统技术、测控技术、仪器仪表、机电一体化等专业师生使用，也可供相关专业的教学、科研和工程技术人员参考。
作者简介
暂缺《微系统设计导论（第2版）》作者简介
图书目录
绪论
第1章 尺度效应
第2章 弹性变形
第3章 薄膜
练习题
第4章 导路
练习题
第5章 电学测量
练习题
第6章 膜片
练习题
第7章 膜片上的应变计
练习题
第8章 梁
练习题
第9章 振动
练习题
第10章 微流道
练习题
第11章 电容力
练习题
第12章 压电效应
练习题
第13章 热执行器
练习题
第14章 微光学技术
练习题
第15章 扩散
练习题
第16章 微阀
练习题
第17章 微泵
练习题
第18章 微量给料
第19章 物理域的类比性
练习题
第20章 机械电子器件
练习题
第21章 压力传感器
练习题
第22章 流量传感器
练习题
第23章 惯性传感器
练习题
参考文献